Вольфрам жіптерін сканерлейтін электронды микроскоп, Эко. SEM, 15x ~ 250000x
Өнім Сипаттамасы
A63.7062 Вольфрамды жіп Электронды микроскопты сканерлеу, Эко. SEM | ||
Ажыратымдылық | 4.5nm@30KV (SE); 6нм @ 30KV (BSE) | |
Үлкейту | Теріс үлкейту: 15х ~ 250000х; Экранның ұлғаюы: 30x ~ 500000x | |
Электрондық мылтық | Вольфраммен жылытылатын катодқа дейін орталықтандырылған вольфрамды филаменттік картридж | |
Кернеуді жеделдету | 0 ~ 30 кВ | |
Линзалар жүйесі | Үш деңгейлі электромагниттік линза (тарылған линза) | |
Объективті апертура | Молибден апертурасын реттеуге болатын вакуумдық жүйеден тыс | |
Үлгі сатысы | Бес ось кезеңі | |
Саяхат ауқымы | X (Авто) | 0 ~ 50 мм |
Y (Авто) | 0 ~ 50 мм | |
Z (қолмен) | 0 ~ 25 мм | |
R (қолмен) | 360o | |
T (қолмен) | -5o ~ 90o | |
Үлгінің диаметрі | 150 мм | |
Детектор | SE: жоғары вакуумды екінші реттік электрон детекторы (детектор қорғанысымен) | |
Модификация | Stage Upgrade; EBL; STM; AFM; Жылыту кезеңі; Крио сатысы; Созылу кезеңі; Микро нано манипулятор; SEM + Қаптау машинасы; SEM + Лазер | |
Аксессуарлар | CCD, LaB6, рентген детекторы (EDS), EBSD, CL, WDS, жабу машинасы | |
Вакуум жүйесі | Турбо молекулалық сорғылар; Айналмалы сорғы | |
Электронды сәуле тогы | 10pA ~ 0,1 |
Хабарыңызды осы жерге жазып, бізге жіберіңіз